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濺射成膜由分解過(guò)程，輸送過(guò)程及膜成長(zhǎng)三個(gè)過(guò)程組成。時(shí)靶材分解進(jìn)而開(kāi)始濺射。一般我們玻璃瓶廠(chǎng)把靶材為固態(tài)的有機(jī)物，無(wú)機(jī)物，形狀多為塊狀，板狀，圓盤(pán)狀。對(duì)復(fù)合組成的靶材制備復(fù)雜，成本高。因而玻璃瓶生產(chǎn)廠(chǎng)家采用了粉末狀靶材，但有可能有較多氣體排出，影響膜性質(zhì)。一般靶材分解可利用離子槍?zhuān)?
等離子體，激光等集中的能量。由于飛濺出的原子或分子能量高，成膜中島狀形成密度高已形成連續(xù)膜層，微細(xì)結(jié)構(gòu)為纖維狀結(jié)構(gòu)。由于濺射粒子能量高，促進(jìn)了在基板表面處原子的遷移和結(jié)晶成長(zhǎng)，使膜密度以及膜與基板的密著性得到提高。
成膜過(guò)程中會(huì)有一定量Ar混入膜中，經(jīng)過(guò)我們徐州玻璃瓶廠(chǎng)的研究結(jié)果是把靶材表面反彈的Ar進(jìn)入膜中的緣故，靶材的原子量越大Ar混入量就越大，但提高Ar氣壓力可使混入量減少。一般玻璃瓶公司認(rèn)為混入Ar會(huì)影響膜的應(yīng)力，此外濺射氣體中引入反應(yīng)性氣體如O2氣時(shí)會(huì)產(chǎn)生負(fù)離子，易造成膜中缺陷。
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